Développement des microcapteurs chimiques CHEMFETs pour l'analyse de l'eau
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Tác giả chưa xác định. Développement des microcapteurs chimiques CHEMFETs pour l'analyse de l'eau. Thesis, HAL - Pháp.
Việt Nam (chuẩn TCVN 5453:1991):
. Développement des microcapteurs chimiques CHEMFETs pour l'analyse de l'eau. Thesis. HAL - Pháp. Truy cập từ .
Tóm tắt
L'intérêt porté aux microcapteurs électrochimiques ChemFETs (Chemical Field Effect Transistor) ne cesse de croître, stimulé par leurs nombreuses applications. Au cours de cette thèse, différentes structures de ChemFETs à canal non préformé et préformé ont été étudiées, simulées et réalisées. Le procédé technologique et l'encapsulation des ChemFETs à canal préformé ont été mis au point. Les caractéristiques électrochimiques de ces structures ChemFETs ont été effectuées afin de mettre en évidence - HAL URI: https://theses.hal.science/tel-00010002v1